某些产品的工艺性要求空气中不良气体的比例不能高，否则将会影响产品的合格率。应用于半 导体厂房中央空调的喷淋水洗室（AIR 导体厂房中央空调的喷淋水洗室（AIR WASHER）系统，使用纯水，通过特种不锈钢喷嘴喷出颗粒 WASHER）系统，使用纯水，通过特种不锈钢喷嘴喷出颗粒 度适宜的水雾，将空气中对半导体晶元有害的气体（如：SO2、NH3、苯等）吸附到水颗粒上，流到 循环水箱内。喷淋水洗室（AIR 循环水箱内。喷淋水洗室（AIR WASHER）系统通过对水箱内水质电导率的实时检测，进行喷水水 WASHER）系统通过对水箱内水质电导率的实时检测，进行喷水水 质的实时控制，并在水质不合格时通过排旧水补新水等一系列措施，充分保证系统对送风空气不良 气体的有效清除。
应用范围：性要求空气中不良气体的比例不能高，否则将会影响产品的合格率。应用于半导体厂 房中央空调的喷淋水洗室（AIR WASHER）系统，使用纯水，通过特种不锈钢喷嘴喷出颗粒度适宜的水雾， 将空气中对半导体晶元有害的气体（如：SO2、NH3、苯等）吸
